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作者： 廣科 | 2024-08-22
DAIHEN雙臂真空晶圓傳輸機械手
優(yōu)勢：
650WPH真空高速穩(wěn)定傳輸，超高軌跡精度和定位精度，且具備晶圓中心錯位校正功能；
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